复合式净化工程为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气的净化工程。有些人又想问了，复合式净化工程好吗？复合式净化工程可以分三类：洁净隧道、洁净管道、并装局部洁净室。跟小编一起来看看吧。
(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(clean tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(clean spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
4.洁净工作棚
洁净工作棚为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

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