磁传感器:广泛用于现代工业和电子产品中以感应磁场强度来测量电流、位置、方向等物理参数。在现有技术中,有许多不同类型的传感器用于测量磁场和其他参数。例如采用霍尔(hall)元件,各向异性磁电阻(anisotropic magnetoresistance, amr)元件或巨磁电阻(giant magnetoresistance, gmr)元件为敏感元件的磁传感器。
磁传感器未来的发展趋势有以下几种特点:1、小型化、集成化、智能。要想做到以上需求,这就需要芯片级的集成,模块级集成,产品级集成。2、高频特性。随着应用领域的推广,要求传感器的工作频率越来越高,应用领域包括水表、汽车电子行业、信息记录行业。tmr(tunnel magnetoresistance)元件是近年来开始工业应用的新型磁电阻效应传感器,其利用的是磁性多层膜材料的隧道磁电阻效应对磁场进行感应,比之前所发现并实际应用的amr元件和gmr元件具有更大的电阻变化率。我们通常也用磁隧道结(magnetic tunnel junction, mtj)来代指tmr元件,mtj元件相对于霍尔元件具有更好的温度稳定性,更高的灵敏度,更低的功耗,更好的线性度,不需要额外的聚磁环结构;相对于amr元件具有更好的温度稳定性,更高的灵敏度,更宽的线性范围,不需要额外的set/reset线圈结构;相对于gmr元件具有更好的温度稳定性,更高的灵敏度,更低的功耗,更宽的线性范围。什么是磁传感器?就是把磁场、电流、应力应变、温度、光等外界因素引起敏感元件磁性能变化转换成电信号,以这种方式来检测相应物理量的器件。
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